樣氣中的氧分子通過高分子薄膜擴散到氧電極中進行電化學反應，電化學反應中產生的電流決定于擴散到氧電極的氧分子數，而氧的擴散速率又正比于樣氣中的氧含量，這樣該傳感器輸出信號大小只與樣氣中的氧含量相關，而與通過傳感器的氣體總量無關。在線微量氧分析儀通過外部電路的連接，反應中的電荷轉移即電流的大小與參加反應的氧成正比例關系。儀器采用此方法進行測氧，可以不受被測氣體中還原性氣體的影響，免去了許多的樣氣處理系統。
在線微量氧分析儀是化學原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。
采用干態的消石灰粉作為吸收劑，也可采用其它對二氧化硫有吸收反應能力的干粉或漿液作為吸收劑。煙氣從底部通過文丘里管進入循環流化床吸收塔內。攜帶大量固體顆粒的煙氣從吸收塔頂部排出，進入再循環除塵器，被分離出來的顆粒經中間灰倉返回吸收塔。
在線微量氧分析儀中的氨水或液氨與煙氣接觸混合，洗滌后的煙氣經過液滴分離器除去水滴進入前置洗滌器中。吸收液自塔頂噴淋洗滌煙氣，二氧化硫被洗滌吸收除去，經洗滌的煙氣排出后經液滴分離器除去攜帶的水滴，進入脫硫洗滌器。在該洗滌器中煙氣進一步被洗滌，經塔頂的除霧器除，進入脫硫洗滌器，再經煙氣換熱器后經煙囪排放。
在線微量氧分析儀特點：
1.選用進口燃料電池式微量氧檢測元件，具有壽命長，反應速度快等；
2.采用全中文人機對話菜單，操作直觀方便；
3.上、下限報警點可在全量程范圍內任意設置，具有無紙記錄儀功能，自動記錄氧濃度隨時間的變化曲線。
4.定時自動存儲功能，可隨時查看存儲數據，量程自動換擋、報警點可在全量程范圍內任意設置；
5.采樣系統使用長度達數英尺的管道和接頭，因此存在潛在的泄漏和堵塞的問題。
6.采用革新的設計，通過精密機加工，設計生產了一體式采樣通路模塊，顯著提高儀器的反應速度，并且消除了內部泄漏的問題。
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